Use this url to cite publication: https://hdl.handle.net/20.500.14172/10565
Options
Electrical properties of diamond-like carbon thin films
Type of publication
Straipsnis recenzuojamoje Lietuvos konferencijos medžiagoje / Article in peer-reviewed Lithuanian conference proceedings (P1f)
Type of document
type::text::conference output::conference proceedings::conference paper
Author(s)
Dłużniewski, M. | Technical University of Łodž | PL |
Lozovski, Tadeuš | Vilniaus universitetas | LT |
Pūras, Romualdas | Vilniaus universitetas | LT |
Sakalauskas, Stanislavas | Vilniaus universitetas | LT |
LT |
Title
Electrical properties of diamond-like carbon thin films
Other Title
Plonųjų į deimantą panašių anglies sluoksnių elektrinės savybės
Publisher
Klaipėda : Klaipėdos universiteto leidykla
Date Issued
Date Issued | Volume | Start Page | End Page |
---|---|---|---|
2008-03-28 | [d.] 6 | 411 | 413 |
Is part of
Technologijos mokslo darbai Vakarų Lietuvoje : [konferencijos pranešimų medžiaga]
Field of Science
Keywords
Abstract
Electrical properties diamond-like carbon thin films (DLC) thin films grown by radio frequency plasma enchanced chemical vapour deposition (RF PECVD) method on n-type Si<111> substrate are analyzed and experimental results of surface electric potential and electrical conductivity for direct current and alternating current are presented in the paper. Conductivity measured of metal-DLC-Si structures for direct curreent and for alternating 1Hz frequency current was coincided whwreas conductivity for high frequency alternating current was considerably higher and slightly depended on temperature.
Straipsnyje analizuojamos plonųjų į deimantą panašių anglies sluoksnių, užaugintų ant n-silicio radijo dažnio cheminio nusodinimo iš garų fazės metodu, elektrinės savybės. Pateikiami užaugintų sluoksnių paviršinio elektrinio potencialo ir elektrinio laidžio nuolatinei ir kintamo dažnio srovei matavimų eksperimentiniai rezultatai. Išmatuotos struktūrų metalas-plonasis anglies sluosnis-silicis elektrinio laidžio vertės nuolatinei ir Hz dažnio kintamai srovei sutapo, o laidis aukšto dažnio srovei buvo žymiai didesnis ir silpnai priklausė nuo temperatūros.
ISSN (of the container)
1822-4652
eLABa
2444889
Coverage Spatial
Lietuva / Lithuania (LT)
Language
Anglų / English (en)
Bibliographic Details
7